３００ｍｍウエハを２５枚単位で収納管理するカセットは、支点部位４点の高さ精度が 重要となるため、定期的な計測検査が必要になります。

　弊社の計測システムを搭載する装置では、４台のカメラと照明を用いて、溝幅単位で上下に スライドさせ、オーバーラップした画像を撮影することで、正確な溝間隔や高さを計測することが可能です。

　本ウエハカセット検査装置は、国内外のウエハ製造メーカで使われております。

　アライメント（位置決め）は基本的な画像処理技術の１つですが、光学撮影系に起因する画質や撮影対象の性質により、難しくなる場合があります。

　光学撮影系の特性は、テストチャートの撮影により測定し、歪やシェーディングがあれば画像処理で補正することが可能です。
　ただし、ソフトウェア的な補正を行うか光学系を見直すかについては、以降の方向性を決める重要な意思決定になりますので、慎重な判断が必要です。

　さて、一般的にアライメントを難しくするのは、撮影対象の不安定性だと思われます。被写体自体に非線形な、不確定性の変動がある場合です。

　弊社では、不安定さ・不確実性のある部分は排除・補正した情報を用いること、言い換えれば照合に必要な情報のみを選択的に取り出すこと により、確実で安定的なアライメント機能を提供いたします。