マイクロスクラッチ、キズなどの光回折で反応するものや、表面状態等で光散乱に違いがある場合を想定し、目視検査同様に、多方向・複数角度の数十の照明状態における検査対象を、複数方向(直上／傾斜)のカメラで撮影します。 傾斜撮影画像は、３次元逆透視変換により、直上撮影画像にマッピングされ、欠陥分類に利用されます。 撮影された大量の画像は、カメラ毎の正確な位置合わせにより１枚の合成画像に集約することで、欠陥マップを正確に構成することが可能です。

　（２）欠陥種別判定

　合成画像上の各欠陥には、対応する多くの画像から得られる特徴パラメータを利用することで、様々な欠陥種別の分類が可能になります。

（３）　３次元ビューア

　カセット単位で管理されるウエハの欠陥マップを３次元上に展開することで、製造工程に起因する様々な欠陥を把握することが可能になります。